干式螺桿真空泵使用較為簡單，但是開停機過程仍然需要遵循一定的順序。其中正常的停機順序如下：
首先是關閉進氣端的主閥；
其次是如果干式螺桿真空泵的抽氣介質含有腐蝕性氣體，以及粘性物質等，需要開啟吹掃裝置，對泵腔進行20～30分鐘左右的清掃，清掃介質可以干燥的空氣、氮氣等惰性氣體或者溶劑，來清潔泵腔內部，防止這些介質對泵產生影響；
第三，關閉電機，停止真空泵的運行；
第四，關閉干式螺桿真空泵的冷卻水系統。
如果是在冬季或者寒冷的環境下，可能出現結冰現象，那么還需要將干式螺桿真空泵冷卻水夾套內以及相關管路中的水排除干凈，防止凍裂。
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