無油螺桿真空泵的保養維護，最常規的就是在日常使用中每日檢查項目，包括：
1、油位檢查。包括齒輪、軸承，過多過少都會對部件造成不良影響。
2、油的清潔度檢查。如果有乳化、變黑等現象要及時更換。
3、檢查是否有漏油情況。
4、檢查冷卻水量是否足夠。
5、檢查運行中泵的驅動端與非驅動端端蓋的溫度是否正常。
6、檢查無油螺桿真空泵的進氣口與排氣口的壓力是否在正常范圍內。
7、檢查電機負載是否正常。
8、停機清洗后，要排盡真空泵內、消音器及后面管道內的液體與雜物。
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